美國BROOKS流量計-5850EM 系列金屬密封熱式質量流量控制器

型號 5850EM / 5851EM
5850EM 系列金屬密封質量流量控制器測量和控制超潔凈環境中的高壓氣體流量，其穩定性基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC 的性能。其金屬密封結構和電拋光潤濕表面確保出色的流動完整性，并通過消除對氣體壓力的持續監測和重新調整以提供穩定的氣體流動的需要，幫助提高整體工藝效率。

概述

特征
每年<0.2%滿量程的長期零穩定性
<3 秒的穩定時間來命令更改，過沖/下沖可忽略不計
流量范圍寬——從 3 sccm 到 30,000 slpm
高壓等級 - 高達 1,500 psi
可選的增強工藝內部光潔度 - 5μ 英寸 Ra avg
可拆卸流量傳感器
對安裝姿態不敏感
與其他質量流量控制器機械和電氣兼容
TTL 兼容“閥門關閉”和吹掃功能
好處
全金屬流路提高了氣體純度并減少了泄漏
在廣泛的過程和應用范圍內經過驗證的長期穩定性和準確性
可靠的性能帶來出色的投資回報
可拆卸流量傳感器無需連續監測和重新調整氣壓
通過僅模擬輸入/輸出輕松安裝和維修
應用
光纖
LED / MOCVD
半導體
太陽的

規格：

產品類別質量流量控制器
微分器
具有久經考驗的長期性能的大型安裝基礎

表現
流量范圍（滿量程）3 立方厘米 - 30,000 立方厘米
準確性
1% FS 包括 線性度

1.5% FS 含 線性度 >20 slpm

重復性
費率的 0.2%

線性度
±0.5% FS（包括在精度中）

響應時間
常閉閥：<3 秒

可選：600 毫秒

多氣體和范圍可配置性
—

壓力瞬態不敏感—
控制范圍
2-3% - 100%

箱數
不適用

閥門關閉
不適用

零穩定性< ±0.5% FS 每年
機械的
密封材料金屬
純度水平/表面光潔度
316L VAR、316L 和高合金鐵素體不銹鋼

接液材料
閥座：316L、Viton ?氟橡膠、Buna-N、Kalrez ?或 Teflon ?

閥門選項
常閉、常開

儀表（無閥門）

收視率
最高溫度65攝氏度_
差壓范圍
5 - 50 psi（取決于氣體和范圍）

最大壓力
1500 磅/平方英寸

泄漏完整性1x10 -10 atm cc/sec He
診斷和顯示
診斷能力—

狀態燈MFC 運行狀況、網絡狀態
警報
控制閥輸出，網絡中斷

診斷/服務端口
不適用

?

電氣
模擬通信
4-20毫安

0-5 伏直流電

數字通信
—

電氣連接
15 針 D 連接器 (DA-15P)

電源/消耗
常閉閥：3.25 瓦

常開閥：10.5 瓦

遵守
電磁兼容
(89/336/EEC) 每 61326

環境合規
不適用