美國BROOKS流量計半導體產品
絕對的精度和控制。適用于世界上要求最高的行業。
精確和可重復的過程控制：它是制造電子和半導體產品的根本驅動因素。隨著每一代工具、流程和節點的開發和部署，對半導體流量和壓力儀表的不斷創新和改進的極端、超高性能要求和需求已經 - 并將繼續 - 不停歇。
Brooks Instrument 的半導體產品通過業界最先進的流量、壓力、真空和蒸汽輸送解決方案滿足了這些要求。我們的半導體產品組合建立在我們數十年創造許多突破性測量和控制設備的經驗之上，這些設備現在已成為行業各個層面工藝工具的標準組件。
當您選擇 Brooks Instrument 的半導體產品時，您也選擇了只有我們才能為解決基本 FEOL 和 BEOL 工藝和良率挑戰提供的獨特見解和資源：
專業知識：領先的半導體工具制造商期待 Brooks 員工的成熟專業知識和洞察力，以改進我們的流量和壓力測量和控制技術，以應對獨特的工藝氣體、腔室匹配和吞吐量挑戰。
精度： Brooks 在我們提供的半導體產品中為客戶提供最合適的、特定于應用的精度、耐用性以及最重要的可重復性，以幫助管理飛漲的工具成本。我們不斷投資以改進我們的產品組合，因此每臺設備都有助于改進過程控制，最終轉化為生產力和產量。
可靠性： Brooks 的半導體產品采用最優質的鋼材和合金、高性能數字電子設備和專利傳感器設計，可提供數十年的準確、可重復的測量和控制，尤其是在與特殊工藝氣體相互作用時。
重點： Brooks 對流量和壓力測量和控制有著獨特的關注，具有不斷增長的服務能力和全球足跡，能夠更快地響應儀器問題并為我們提供的半導體產品提供更好的生命周期支持。
支持：我們提供支持，在選擇半導體產品時提供應用專業知識、定制計量配置、服務和幫助。
美國BROOKS流量計-液體和蒸汽產品